超聲掃描顯微鏡(SAT)是一種利用超聲波為傳播媒介的無損檢測成像設備,主要利用高頻超聲波,對各類半導體器件、材料進行檢測,能夠檢測出樣品內部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷,并以圖形的方式直觀展示。在掃描過程中,不會對樣品造成損傷,不會影響樣品性能,可有效滿足新能源、半導體、電力電子、熱管理材料、金剛石復合材料、碳纖維復合材料等行業需求。
1、 具備A(點掃描)、B(縱向掃描)、C(橫向掃描),Tray-托盤掃描等系列掃描模式。
2、 具備定量測分析功能,以圖像方式直觀顯示被測件內部缺陷的位置、形狀和大小,并進行缺陷的尺寸和面積統計,自動計算缺陷占所測量面積的百分比;具備缺陷尺寸標識;厚度與測距等功能。
3、 適用于單個器件的快速掃描分析,也可批量放置樣品同步進行缺陷識別,快速篩選出不合格品。
4、 可兼容1~25MHz的超聲探頭。
5、 檢測軟件自主研發,中英文界面,可根據客戶需求對功能進行持續升級。
產品參數:
序號 |
機電特性 |
規格型號 |
1 |
整機尺寸 |
600mm×650mm×500mm |
2 |
水槽尺寸 |
300mm×220mm×120mm |
3 |
有效掃描范圍 |
200mm×25mm×50mm |
4 |
最大掃描速度 |
300mm/s |
5 |
超聲探頭 |
可兼容1~25MHz的超聲探頭。 |
6 |
定位精度 |
X/Y≤±1μm,Z≤±10μm |
7 |
重復定位精度 |
X/Y≤±0.01mm,Z≤±0.02mm |
產品主要配置:
序號 |
名稱 |
規格 |
1 |
掃描系統 |
X、Y軸:伺服電機驅動;Z軸:步進電機驅動; |
2 |
水槽 |
300mm x 220mm x 120 mm |
3 |
超聲發射、接收器 |
帶寬1-30MHz |
4 |
高速數據采集卡 |
采樣頻率 100MHz |
5 |
工控機 |
i5處理器、內存4GB、硬盤1T、Win7 32位操作系統。 |
6 |
顯示器 |
21.5"液晶顯示器一個 |
7 |
上下水系統 |
手動控制水槽系統的注排水過程(選配) |
8 |
檢測軟件 |
和伍超聲無損檢測軟件 |
行業應用:
適用于電器焊接件、陶瓷材料等領域的缺陷檢測。